在半导体制造行业，高纯度有毒气体如硅烷（SiH?）、磷化氢（PH?）、砷化氢（AsH?）等的应用极为广泛，但这些气体一旦泄漏，不仅可能引发爆炸、中毒等严重事故，还会对精密设备造成不可逆的损害。如何确保生产环境的安全？高纯度有毒气体报警器成为半导体制造企业的“安全刚需”。艾伊科技AG310/AG311系列有毒气体探测器，凭借模块化设计、高精度传感和智能报警功能，正成为行业安全监测的标杆产品。

半导体制造行业为何需要专用高纯度有毒气体报警器？

半导体制造过程中，气体纯度直接影响芯片良率，而有毒气体泄漏的危害更不容忽视。例如，硅烷泄漏可能引发自燃，磷化氢浓度超标会导致人员中毒，砷化氢则具有剧毒。传统气体报警器可能因传感精度不足、抗干扰能力弱，无法满足半导体车间对微量泄漏（ppm级）和复杂气体共存环境的监测需求。而高纯度有毒气体报警器通过半导体传感技术，可精准识别单一气体浓度，避免交叉干扰，确保报警准确性。

AG310/AG311：模块化设计，满足半导体行业定制化需求

艾伊科技AG310/AG311系列有毒气体探测器采用模块化传感器设计，用户可根据车间气体种类（如硅烷、磷化氢、氨气等）灵活更换检测模块，实现“一机多用”。其核心参数如下：

检测范围：0-100ppm（支持定制量程）；

响应时间（T90）：≤30秒，快速捕捉泄漏；

报警方式：大光圈声光报警+三组开关量输出，可联动排风、切断阀等设备；

防护等级：IP66，适应洁净室、无尘车间等严苛环境。

高纯有毒气体气体监测仪：从预警到联动的全流程防护

半导体车间对安全响应速度要求极高。AG310/AG311系列不仅支持本地声光报警，还可通过开关量信号与DCS、PLC系统对接，实现泄漏自动处置。例如，某12英寸晶圆厂部署该设备后，当磷化氢浓度达5ppm时，系统立即触发排风装置，10秒内将浓度降至安全阈值，避免人员中毒和设备腐蚀。

结语：高纯度有毒气体报警器，守护半导体制造的“芯”安全

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